PEEK입니다. 연속 사용 260°C의 내열성과 대부분의 산·염기·유기용제에 대한 내성, 낮은 용출 특성을 갖춰 웨이퍼 캐리어·약액 접촉 부품·플라스마 환경 부품에 널리 쓰입니다. 옥터드는 Joyrun PEEK 전 그레이드를 국내 재고로 공급합니다.
SEMICONDUCTOR & DISPLAY
이 분야의 문제공정 부품은 순도·치수 안정성·내화학성을 동시에 요구합니다
웨이퍼 이송, 습식 공정, 플라스마 환경, 고온 베이크 — 옥터드는 Joyrun PEEK 전 그레이드와 고온 설폰, 그리고 부품 식별용 컬러 솔루션을 공급합니다.
Joyrun K10GJoyrun K10CA30Joyrun K10GL30
반도체 · 디스플레이 소재 요구조건
6개 항목01저용출 · 순도공정 오염을 유발하는 이온·가스 용출이 최소화되어야 합니다. 순수 PEEK가 기준 소재입니다.
02내화학성산·알칼리 습식 공정 약액과 세정액에 장기 노출되어도 침식되지 않아야 합니다.
03고온 치수 안정성베이크·열처리 온도에서 변형이 없어야 합니다. 섬유 강화 그레이드로 보완합니다.
04정밀 공차 유지웨이퍼 접촉 부품은 낮고 균일한 성형 수축이 필수입니다.
05내마모 · 저파티클이송부 슬라이딩에서 마모 분진이 발생하지 않아야 합니다.
06부품 식별라인·세대별 부품 혼용을 막기 위한 색상 구분이 필요합니다.
추천 소재 · 그레이드
각 그레이드 페이지에서 시험 규격 기준 전체 물성 데이터와 TDS를 확인하실 수 있습니다.
PEEKJoyrun K10G시장 표준 Victrex® 450G 대응순수 100% PEEK 표준. 웨이퍼 캐리어·약액 접촉 부품의 기준 소재.물성 데이터 →PEEKJoyrun K10CA30시장 표준 Victrex® 450CA30 대응탄소섬유 30% 강화. 계열 최고 강성과 낮은 열팽창으로 고온 정밀 구조 부품에.물성 데이터 →PEEKJoyrun K10GL30시장 표준 Victrex® 450GL30 대응유리섬유 30% 강화. HDT 328°C의 치수 안정성이 필요한 고온 구조 부품에.물성 데이터 →PEEKJoyrun K10LF30시장 표준 Victrex® 450FC30 대응무윤활 저마찰·저마모 베어링 그레이드. 이송부 부시·와셔용.물성 데이터 →PESU 폴리에터설폰Ultrason® E 2010고온 강성이 유지되는 PESU. 투명이 필요한 고온 지그·검사 부품에.물성 데이터 →고온 컬러 솔루션PEEK 컬러란트 · 프리컬러PEEK 전용 컬러란트. 라인·세대별 부품 식별 색상 적용.물성 데이터 →
주요 적용 부품
- 웨이퍼 캐리어 · 이송 부품
- 습식 공정 약액 접촉 부품
- 플라스마 환경 노출 부품
- 고온 베이크 지그 · 픽스처
- CMP · 세정 장비 부품
- 디스플레이 공정 이송 부시 · 롤러